苏ICP备2022014616
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被“卡脖子”的国产半导体设备零部件，如何生长？半导体工业是构建我国战略科技力量自立自强的焦点支撑工业，而半导体零部件则是决定我国半导体工业高质量生长的要害领域。尽管目今我国半导体工业处于加速生长阶段，但海内半导体零部件工业仍面临着国产化率低下，工业恒久支持和投入力度缺乏，企业自主立异能力薄弱，工业上下游联动相助不畅，人才培养和激励机制缺失等诸多问题。本文将全面梳理全球半导体零部件工业的生长特点和重点企业，研究海内外市场规模和生长花样，并针对目前海内半导体零部件工业面临的主要问题，提出相关生长建议。 半导体零部件是指在质料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等性能方面抵达了半导体设备及技术要求的零部件，如O-Ring密封圈、EFEM (传送�？�)、RF Gen射频电源、ESC静电吸盘、Si硅环等结构件、Pump真空泵、MFC气体流量计、精密轴承、ShowerHead气体喷淋头等。半导体设备由成千上万的零部件组成，零部件的性能、质量和精度直接决定着设备的可靠性和稳定性，也是我国在半导体制造能力上向高端化跃升的要害基础要素。海内半导体零部件工业起步较晚，我国半导体零部件工业总体水平偏低，高端产品供应能力缺乏，产品可靠性、稳定性和一致性较差的问题日益凸显。在全球宏观政治经济日益庞大，美国不绝打压停止我国高技术产颐魅战略崛起的配景下，工业被“卡脖子”的现象较为突出，这不但严重制约我国半导体工业向高级化高端化生长，同时对我国数字经济、民生经济和国防宁静也带来不可低估的危害。 半导体零部件主要分类和主要特点 （1）半导体零部件主要分类 半导体零部件是半导体设备的要害组成，据不完全统计，目前行业里关于半导体零部件的种类划分尚未形成标准，目前主要有以下几种分类要领。 凭据典范集成电路设备腔体内部流程来分，零部件可以分为五大类：电源和射频控制类、气体输送类、真空控制类、温度控制类、传送装置类。其中电源和射频控制类包括射频爆发器和匹配器、直流/交流电源等。气体输送类主要包括流量控制器、气动部件、气体过滤器等。真空控制类包括干泵/冷泵/分子泵等种种真空泵、控制阀/钟摆阀等种种阀件、压力计以及O-Ring密封圈。温度控制类则包括加热盘/静电吸盘、热交换器及升降组件。传送装置类包括机械手臂、EFEM、轴承、精密轨道、步进马达等。 凭据半导体零部件的主要质料和使用功效来分，可以将其分为十二大类，包括硅/碳化硅件、石英件、陶瓷件、金属件、石墨件、塑料件、真空件、密封件、过滤部件、运动部件、电控部件以及其他部件。其中各大类零部件还包括若干细分产品，例如在真空件里就包括真空规（丈量工艺真空）、真空压力计、气体流量计（MFC）、真空阀件、真空泵等多种要害零部件。 凭据半导体零部件效劳工具来分，半导体焦点零部件可以分为两种，即精密机加件和通用外购件 [1]。精密机加件通常由各个半导体设备公司的工程师自行设计，然后委外加工，只会用于自己公司的设备上，如工艺腔室、传输腔室等，国产化相对容易，一般对其外貌处理、精密机加工等工艺技术的要求较高 ；通用外购件则是一些经过长时间验证，获得众多设备厂和制造厂广泛认可的通用零部件，越发具有标准化，会被差别的设备公司使用，也会被作为产线上的备件耗材来使用，例如硅结构件、O-Ring密封圈、阀门、规（Gauge）、泵、Face plate、气体喷淋头Shower head等，由于这类部件具备较强的通用性和一致性，并且需要获得设备、制造产线上的认证，因此国产化难度较高。 |
